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頻譜分析儀的主要技術指標有頻率范圍、分辨力、分析譜寬、分析時間、掃頻速度、靈敏度、顯示方式和假響應。
1、頻率范圍：頻譜分析儀進行正常工作的頻率區(qū)間。頻譜儀的頻率范圍能從低于1赫直至300吉赫。
2、分辨力：頻譜分析儀在顯示器上能夠區(qū)分鄰近的兩條譜線之間頻率間隔的能力，是頻譜分析儀重要的技術指標。分辨力與濾波器型式、波形因數(shù)、帶寬、本振穩(wěn)定度、剩余調頻和邊帶噪聲等因素有關，掃頻式頻譜分析儀的分辨力還與掃描速度有關。分辨帶寬越窄越好。現(xiàn)代頻譜儀在高頻段分辨力為10～100赫。
3、分析譜寬：又稱頻率跨度。頻譜分析儀在一次測量分析中能顯示的頻率范圍，可等于或小于儀器的頻率范圍，通常是可調的。
4、分析時間：完成一次頻譜分析所需的時間，它與分析譜寬和分辨力有密切關系。對于實時式頻譜分析儀，分析時間不能小于其窄分辨帶寬的倒數(shù)。
5、掃頻速度：分析譜寬與分析時間之比，也就是掃頻的本振頻率變化速率。
6、靈敏度：頻譜分析儀顯示微弱信號的能力，受頻譜儀內部噪聲的限制，通常要求靈敏度越高越好。動態(tài)范圍指在顯示器上可同時觀測的樶強信號與弱信號之比。現(xiàn)代頻譜分析儀的動態(tài)范圍可達80分貝。
7、顯示方式：頻譜分析儀顯示的幅度與輸入信號幅度之間的關系。通常有線性顯示、平方律顯示和對數(shù)顯示三種方式。
8、假響應：顯示器上出現(xiàn)不應有的譜線。這對超外差系統(tǒng)是不可避免的，應設法抑止到小，現(xiàn)代頻譜分析儀可做到小于-90分貝毫瓦。
